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氮氫混合氣在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

所屬分類：常見解答    發(fā)布時間： 2022-11-28    瀏覽次數(shù)：1076


  高純氣體廣泛用于電子器件生產(chǎn)工藝中。按工藝中高純度氣體的不同用途，可將其分為保護(hù)氣、反應(yīng)氣和載氣。用作保護(hù)氣的有氫氣、氮氣、氧氣及其混合氣。在國內(nèi)為獲取氫氣和氨氣，為獲得較高純度的氫氣，一般都采用電解純水的方法制取。為減少電能消耗，降低成本，都在研制和應(yīng)用各種混合氣。氮氫混合氣體是焊接行業(yè)常用的混合保護(hù)氣種類之一，氮氣穩(wěn)定的性質(zhì)和氫氣的弱還原作用對焊縫的成形具有極好的輔助效果，并且對于氣泡生產(chǎn)也有相當(dāng)?shù)囊种谱饔?，在焊接領(lǐng)域有很好的使用成效。

  但是氮氫混合氣體也具有極大的風(fēng)險，主要是因為氧氣的易燃易爆性質(zhì)決定的，如果在氮氫混合氣體中若混入氧氣遇到火就會發(fā)生爆炸。所以氮氫混合氣體供氣必須確保供氣的封閉性和混合比例，不然對焊接車間來說，就是一個極大的隱患。其中，氮氫混合氣將成為電子器件生產(chǎn)應(yīng)用中的“福音”。以應(yīng)用氮氫混合氣為最多。國外多采用液態(tài)氫和液態(tài)氮汽化法獲得氮氫混合氣，也有采用液氮分解法獲得氮氫混合氣的。

  

  混合氣體

  最安全的使用方式是利用氮氫混合氣體供氣系統(tǒng)，進(jìn)行氮氫混合氣體集中供氣。在供氣站氣源有調(diào)壓穩(wěn)壓回火器對氮氣氫氣進(jìn)行初步處理防護(hù)，在兩路氣體進(jìn)入混合氣體配比器之后，內(nèi)部的精密混配會對兩路氣體按照設(shè)置參數(shù)嚴(yán)格控制，產(chǎn)生混合均勻、精度誤差不超1%的高精度混合氣，車間的用氣終端箱內(nèi)部同樣安裝一套減壓回火防止閥，氮氫混合氣體經(jīng)過管道送入終端箱會進(jìn)行二次安全處理，分流給周圍焊槍使用，焊槍以軟管和終端箱出氣口連接，非常安全，迄今還沒有發(fā)生過爆炸事故。

  用液氫和液氮汽化來獲得氮氧混合氣的方法，由于采用了液化后再汽化的工藝，故其投資和成本均較高。國外，由于生產(chǎn)的專業(yè)化程度高，使用單位多采用這種方法獲得混合氣。國內(nèi)若從專業(yè)廠或大型聯(lián)合企業(yè)的副產(chǎn)物獲得液氫和液氮，其成本要比電解氫和“空分”氮獲得的氫氣與氯氣高出幾倍。由液氨分解獲得的氮氧混合氣，由于液氮來源不同，大多數(shù)質(zhì)量較差，其中仍含有未分解的氨、水和氧等雜質(zhì)。此外，液氮多來源于化肥廠，目前，供應(yīng)上較緊張，故成本也較高。

  氮氫混合氣

  氮氫混合氣

  氮氫混合氣不僅可在生產(chǎn)電子器件時取代氧氣用作保護(hù)氣，還可廣泛用于冶金、化工、機(jī)械等行業(yè)。一旦廣泛推廣應(yīng)用，必將產(chǎn)生可觀的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益。專業(yè)配制各種標(biāo)準(zhǔn)氣體、混合氣體，可根據(jù)客戶需求進(jìn)行配制。氣體報警類標(biāo)準(zhǔn)氣體、電力能源類標(biāo)準(zhǔn)氣體、石油化工類標(biāo)準(zhǔn)氣體、環(huán)保監(jiān)測類標(biāo)準(zhǔn)氣體、醫(yī)療衛(wèi)生類標(biāo)準(zhǔn)氣體、儀器儀表類標(biāo)準(zhǔn)氣體，激光類準(zhǔn)混合氣體等。


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